除了加速離子,等離子體技術也可以提供外加能量,增加表面遷移率,用低溫沉積方法實現高質量的外延生長。通過低能量的等離子體增強化學氣相沉積(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD),含有低能量離子的高電流等離子體放電可以產生 (共 400 字) [閱讀本文] >>
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 除了加速離子,等離子體技術也可以提供外加能量,增加表面遷移率,用低溫沉積方法實現高質量的外延生長。通過低能量的等離子體增強化學氣相沉積(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD),含有低能量離子的高電流等離子體放電可以產生 (共 400 字) [閱讀本文] >>