氧化鎳基陣列式熱敏器件有限元仿真

摘要： 隨著物聯(lián)網(wǎng)的飛速發(fā)展，對于溫度的實(shí)時、準(zhǔn)確和多點(diǎn)可視化監(jiān)控變得不可或缺?；谥鞍l(fā)展的寬溫域高精度氧化鎳溫度傳感器，通過有限元陣列式熱敏器件的模擬仿真，提出合適的陣列敏感單元尺寸和分布，在真實(shí)反映熱源溫度的情況下，盡量降低對相鄰敏感單元的影響。仿真模型為四層結(jié)構(gòu)，陣列密度為4×4。為了保證模擬的準(zhǔn)確性，各層厚度均進(jìn)行了同比例的放大。敏感單元尺寸的模擬優(yōu)化結(jié)果 顯示，隨著單元面積... ... （共7頁）