DN800型低溫泵的設計與實驗

摘要： 某型真空環(huán)境實驗裝置采用泵口法蘭直徑800 mm的低溫真空泵作為解決方案，實現(xiàn)大抽速、無油潔凈的抽空需求。該型低溫真空泵采用2臺GM制冷機作為制冷源，不需要低溫液體輔助冷卻。2臺GM制冷機總計可以提供220 W@77 K、12 W@16 K的制冷量，超過了低溫泵的系統(tǒng)熱負荷，存在一定的富裕制冷量。在對該型低溫泵的泵殼體、障板、吸附陣等關鍵部件的設計時，按照低溫泵的相關理論公式進... （共6頁）