基于引線鍵合的高速高精度微動(dòng)臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與分析

摘要： 由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的柔性微動(dòng)臺(tái)在高速精密定位領(lǐng)域占有重要地位，針對(duì)引線鍵合過(guò)程焊頭會(huì)產(chǎn)生過(guò)沖對(duì)芯片沖擊，降低芯片質(zhì)量的問(wèn)題，提出了一種基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的微動(dòng)臺(tái)的焊頭過(guò)沖補(bǔ)償原理，設(shè)計(jì)了一種基于彈簧-放大機(jī)構(gòu)復(fù)合結(jié)構(gòu)高速高精度微動(dòng)臺(tái)。對(duì)微動(dòng)臺(tái)進(jìn)行理論分析和有限元分析，結(jié)果表明，微動(dòng)臺(tái)放大比為4.02倍，一階固有頻率為683.57 Hz,且在動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)下最大應(yīng)力滿足材料要求。得到施加彈簧... （共7頁(yè)）