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PZT基多層剪切型壓電陶瓷致動器驅(qū)動性能

微納電子技術(shù) 頁數(shù): 9 2024-12-15
摘要: 隨著驅(qū)動技術(shù)向微型化與高精度化方向發(fā)展,壓電致動器因其在精確位移控制和快速響應(yīng)方面的優(yōu)勢而受到廣泛關(guān)注。提出了一種基于鋯鈦酸鉛(PZT)陶瓷的多層剪切型壓電致動器,并采用有限元分析方法及自主開發(fā)的新型實驗平臺對其驅(qū)動性能進行深入研究。結(jié)果表明,致動器的驅(qū)動性能主要受輸入電壓頻率和幅值的影響,在適當?shù)念l率與低電壓條件下可實現(xiàn)更高的調(diào)控分辨率。此外,當結(jié)構(gòu)施加的預(yù)緊力超過最大負載時... (共9頁)

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